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半導体ガスセンサー

半導体式ガスセンサーは、酸素を吸着する酸化スズ(SnO$_2$)などで多孔質体を 構成し、吸着した酸素が還元性物質(メタン, NO, イソブタン, メルカプタンな ど)で消費されると、電気抵抗など電気的性質が変化することで、ガス濃度を測 る。

フィガロ技研によると、 メタン、プロパン、ブタン、水蒸気、CO、水素、エタノール、アンモニ ア, フロン、硫化水素、VOC、有機塩素、LPガスなどが測定できるとしている。 また、CO$_2$センサの感度を示す図3.97は、エタノールや 一酸化炭素の影響が極めて小さいと言うことを表している。

図 3.96: ガスセンサの原理と形状
図 3.97: ガスセンサの出力

\includegraphics[scale=0.8]{Figs/gas_CO2sensor.eps}



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Ken Kishimoto 2014-06-02