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長さ検出

変位センサは、 物体の移動距離や、物体の寸法測定にも利用される。 ここには位置センサである近接スイッチやリミットスイッチは含めない。 その移動量(変位量)の測定原理(図3.105)として、 磁気式や光学式、超音波式などの 非接触式と ダイヤルゲージや差動トランスなどの 接触式の変位センサがある。 それぞれの方式の原理・特長については表3.18に示した。

図 3.105: 位置センサの分類
\includegraphics[scale=0.8]{Figs/kind-displace}

変位や長さの測定では、微小な変位はてこや歯車などの回転形機構で拡大したり、 大きな変位では縮小することが多い。これらには、 エデンバネや 光てこなどが用いられる。 表3.18に示すように、


表 3.18: 変位センサの分類
項目 対象 測定距離mm 精度$\mu$m 応答性$\mu$s 汚れ サイズ
渦電流式 金属のみ 0$\sim$10 0.5 300 強い 普通
容量式 液体・固体 0$\sim$3 0.1 500 やや弱い 小型
超音波式 液体・固体 60$\sim$10$^4$ 100 50000 普通 大型
接触式 固体 0$\sim$10 0.16 25000 強い 小型
光学三角式 固体・液体 10$\sim$500 0.01 50 やや弱い 小型
光波測距式 固体・液体 500$\sim$1.5$\times 10^4$ 500 40000 強い 小型
光焦点式 固体・液体 5$\sim$30 0.01 640 やや弱い 普通



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Ken Kishimoto 2014-06-02