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静電容量型変位計

静電容量式変位計は、プローブとワークの間に生じる静電容量の変化により、 その距離の変動を測定する非接触式変位計の一種である。 導電体(金属、金属めっき品、半導体など)しか測定できないが、 nmオーダの高分解能、材質や色・光沢による影 響がない、非接触式のため測定対象に損傷を与えないなどの特長がある。

スピンドル軸の回転ぶれ、光学ディスクの揺れ・偏芯、半導体の高さ、フィルム 厚さなどを測定する検査工程で使用されている。



Ken Kishimoto 2014-06-02