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磁気による距離測定

図 3.109: 小さな移動量での移動距離測定
\includegraphics[scale=0.7]{Figs/hole-length}

移動方向と同じ方向に着磁した磁石とホール素子をもちいて検出方法で、 移動距離が 1mm 程度以下では、ホール素子の出力は移動量に線形な出力が得ら れる。この精度は1$\mu$m程度となる。



Ken Kishimoto 2014-06-02