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セラミック相対湿度センサ

TDK は非常に小型の湿度センサを製造している。CHSシリーズの湿度センサであ り、高精度で相対湿度をリニアに出力するセンサである。 このセンサは 10mV/% というゲインを持ち、$\pm$5% RH の精度を持っている。 一例として、図3.36に示すような特性を持ってお り、$\pm5\%$の精度で測定できる。

図 3.36: CHSシリーズ湿度センサの特性の一例(TDKの2011年カタログから)
(a) UGタイプの湿度出力特性 (b) 出力の温度依存性



Ken Kishimoto 2014-06-02