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光ファイバー圧力センサ

光ファイバー式圧力ピックアップは 図3.70に示すように シリコンのダイアフラムと光ファイバーの間に Fabry-Perot空隙と 言われる空隙を作る。

図 3.70: 光ファイバー式圧力ピックアップ
\includegraphics[scale=1.0]{TgifFigs/pres-optic.eps}

ファイバーから導かれたレーザー光は、 このダイアフラム$R_1$と ファイバー端面$R_2$の2箇所で反射する光が戻ってくる。 この空隙は数10$\mu$mであるためこの2つの光は干渉し、 ダイアフラムの動きに応じて干渉光の強度は変化する。 この反射干渉光強度を測定してシリコンダイアフラムの変形を知ることで 圧力を測定する方法である。



Ken Kishimoto 2014-06-02