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真空計

真空計は圧力計の一部であるが、 大気圧より低い圧力を計測する。

真空計の原理には、表3.72に示すように 低真空では蒸気圧の小さなオイルや水銀を用いられた 液柱式やダイアフラム式がある。

中真空では、1Torr(130Pa) 以下であるため、 水銀柱の高さを読む方法は誤差が大きくなる。 そこで、伝熱や圧力に敏感な隔膜法が用いられる。 さらに高真空となると、粘性を利用した圧力計や電離真空計が用いられる。

図 3.72: 真空計の分類
\includegraphics{TgifFigs/vacuum-kind.eps}


表 3.14: 真空の区分、主な応用と真空計
区分 圧力範囲 Pa 主な真空計 利用と応用
低真空 $\hspace{3ex}\sim 10^2$   吸引、真空乾燥、CVD(化学気相成長法)
中真空 $10^2\sim 10^{-1}$  
高真空 $10^1\sim 10^{-5}$ スピニングローター真空計、電離真空計 プラウン管、電子顕微鏡、真空蒸着
超高真空 $10^{-5}\sim \hspace{3ex}$ 電離真空計 粒子加速器、表面分析器



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Ken Kishimoto 2014-06-02