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熱電対真空計・サーミスタ真空計

構造はピラニ真空計と同じであるが、 感圧線の温度を一定に制御するのではなく、 感圧線の温度を熱電対やサーミスタで測定する物である。 ピラニ真空計と比べると精度はわずかに劣るが 制御が簡単となるため安価となり 中真空を測定するために用いられる。


Ken Kishimoto 2014-06-02