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スピニングローター真空計

気体による流体抵抗の大きさは空気の圧力によって異なる。 この圧力変化による抵抗の変化を測定して圧力を測定する方式である。

真空中で鋼球を磁気浮上させ高速に回転させる。 ある一定の回転数に達したら自由回転させると回転速度が減衰するが、 この減衰から圧力を測定するのが、スピニングローター真空計である。 測定精度が高く、再現性は1%であるために、標準計測器として用いられる。

水晶で作った音叉を用いて、気体中で水晶の結晶を振動させる。 音の強さを一定に保つには気体から受ける抵抗に抗した電力が必要であり、 圧力が高い程抵抗が大きく入力電力が大きくなる。 この電力を測定して圧力を測定するのが水晶摩擦真空計である。



Ken Kishimoto 2014-06-02